일반적인
GRAPHITE HEATER ELEMENT는 이론적으로는 발열체 자체온도가
1,800˚C이상의 발열이 가능하며, 4×10-6/˚C의
낮은 열팽창 계수가 보여주듯 고온에서도 정밀성을 유지할 수 있고, 기계가공이
용이하여, 요구되는 발열과 공간에 필요한 어떠한 크기 형상으로도 정밀기계가공이
용이한 장점이 있다. 그러나, 실제로 GRAPHITE는 대기중의 산화조건에서는
450˚C이내에서 사용할 수 있는 온도한계와 타금속 보다 충격에 비교적
약한 단점을 가지고 있다.
하지만, 국내
당사만 보유한 기술인
CVR(CHEMICAL
VAPOR REACTION)PROCESS를 거친 SiC
표면 처리된 GRAPHITE는 표면의 외형수지 변형없이 표면으로부터
약 0.3 ~ 3.0mm 깊이까지 SILICON CARBIDE화하여
대기조건도 800˚C까지 내산화성을 가지며 진공중이나 비활성 분위기에서는
내산화성의 한계온도가 2,500˚C까지 높아지고 상대적인 탈까스 현상도
감소시킨다. 아울러 내마모성 및 내충격성 역시 강화되어 취급상 부주의에
의한 손상가능성을 크게 배제 될 수 있다.
결국, SiC 표면처리된 GRAPHITE HEATER
는 대기의 산화성 분위기와 고온진공의 어떠한 작업에서도 약 1,700˚C까지의
발열이 가능하고 상대적인 탈까스가 적으며 기타의 HEATER에 비하여
비교적 수명이 긴 장점을 가지고 있다. |
